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  • Valves for Atomic Layer Deposition

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シリーズ
  • ALD3
  • ALD6
  • ALD7
  • ALD20
材質
バルブ
  • 集積バルブ
  • 2ポート・バルブ
エンド･コネクション（一次側／二次側）
エンド･コネクション・サイズ
アクチュエーター
  • 標準モデル・アクチュエーター
  • 高温モデル・アクチュエーター
作動型式
  • ノーマル・クローズ型
  • ノーマル・オープン型
電気式インジケーター
  • No
  • Yes
ソレノイド・パイロット・バルブ
  • No
  • Yes
ヒーター・カートリッジ挿入穴
  • No
  • Yes
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