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流路選択バルブ
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流路の数
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
大気開放ベント付き
No
Yes
MPC適合インターフェース
No
Yes
NPTねじテスト・ポート用ベント・エアー・ギャップ
No
Yes
シール
フルオロカーボンFKM
カルレッツ®
Simriz®
電気式ポジション・センサー
なし
一般防爆型電気式ポジション・センサー
本質安全防爆型電気式ポジション・センサー
超高純度工程仕様
なし
特別なクリーニングおよびパッケージング(SC-11仕様)
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